fei扫描电子显微镜技术指标是什么?
FEI场发射扫描电子显微镜是一种用于材料科学领域的分析仪器,于2014年4月24日启用。二次电子分辨率 15KV时优于0.8nm,1KV时优于0.9nm;STEM模式,BF像 30KV时优于0.6nm。
fei扫描电子显微镜的主要功能有哪些?
带能量单色过滤器,超高分辨率热场发射扫描电镜,低加速电压下具有较高的分辨率,能够直接观察不导电材料的显微结构,热场发射肖特基电子枪,束流大,且稳定,电子束流连续可调。
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